UID:292141
ouyuu:新柯隆的一些實驗設(shè)備上,已經(jīng)不用水晶片控制蒸發(fā)速率了。 daA&!vnbH* 直接用光控來控制……但是某些時段的穩(wěn)定性還是不如晶控。 [-W~o.` (2018-08-07 22:27) B/Q>i'e
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morningtech:光控從原理上是可以算出沉積速率的,我測試過也正在努力。 b9b`%9/L 蒸發(fā)機(jī),光控控制沉積速率,暫時不會滿意的。 >*l2]3'` 有的鍍膜機(jī)器是把晶控裝在機(jī)箱里,沒有放在外面。 G%jV}7h (2018-08-08 12:13) >N~jlr