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    [求助]關于可見光區(qū)域400nm-700nm增透膜牢固度 [復制鏈接]

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    離線1111111111
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-09-19
    現(xiàn)在工藝一：ti3o5+soi2+ti3o5+soi2+ti3o5+soi2 溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕。牢固度差，超聲波打了以后，膜層會脫落 Fqt,VED  
    BGd# \2  
    工藝二：MGF2+TIO2+MGF2+TIO2+MGF2+TIO2溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕，手工擦以后，會起霧
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-09-20
    從你提供的參數(shù)看沒覺得哪里有問題，你是不是可以第一層用SiO2試試，對曲線影響很小，也許可以改善結合力。 3"BSP3/ [l  
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-09-21
    第一種工藝，鍍膜前離子源用Ar打一下。增加附著力
    離線knight627
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-09-22
    ,看你工藝參數(shù)沒任何問題,正常來講不會說用超聲波洗下就脫膜.個人建議1.用表面溫度計實測溫度2.檢測機器是否有異常,如果有擴散泵是否返油  3,測下鍍膜實際折射率,是否槍的問題.4.基底表面清潔 重點看1,2