摘要
2`Dqu"TWh 6np 白光
干涉測量法是一種非接觸式技術(shù),用于精確測量,例如表面輪廓和微小位移。使用邁克爾遜
干涉儀設(shè)置和氙燈
光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉測量。考慮到光源的
光譜特性,即有限的相干長度,結(jié)果顯示僅當(dāng)兩個臂的路徑長度幾乎相同時才出現(xiàn)干涉圖案。
,ORwMZtw{H d:<</ah *A^`[_y 1. 建模任務(wù)
c}-ADr9 SlaHhq3 2. 干涉條紋的變化
~10