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    [分享]光學(xué)鍍膜技術(shù)的新進(jìn)展 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2019-04-26
    關(guān)鍵詞: 鍍膜
    在各種光學(xué)千涉應(yīng)用和集成光學(xué)平面波導(dǎo)中,要求高質(zhì)量的介質(zhì)膜。很多無機(jī)化合物膜用普通鍍膜方法沉積很難達(dá)到要求的附著力、密度、硬度和低成本等條件。現(xiàn)在正在研究用反應(yīng)氣體放電等離子體和荷能離子鍍膜材料原子處理等方法對無機(jī)化合物膜進(jìn)行綜合研究。 8 C