摘要
3!<} -sW4 Q"QL#<N ,Y_[+ 干涉測量是一種
光學(xué)計(jì)量的重要技術(shù)。 它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓,缺陷,
機(jī)械和高
精度熱變形等領(lǐng)域的測量。 作為一個(gè)典型的例程,在非
序列場追跡的幫助下,我們在VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-曾德爾
干涉儀,本案例清楚地展示了
光學(xué)元件的傾斜和移位對干涉條紋圖案的影響。
!tr
/$ ckg8x&Z 建模任務(wù)
iT}L9\ O,A}p:Pgs VjhwafYC 元件傾斜引起的干涉條紋
0Q= o"@ 8QaF(?
BH$+{rZ8t 元件移位引起的干涉條紋
`h+1u`FJ \y*,N^w