摘要 4bxkp3~h;  
O\LW 8\M  
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 nfJ8Rt   
(k5DbP[  

圖片:1-20042G00011263.png

j^ _I{  
傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） qE`=^  
wqwJpWIe  
建模任務(wù) kr*c?^b  
Ad,r(0a LZ  

圖片:1-20042G00040528.png

n>E*g|a  
YT5>pM-%  
單次FMM仿真結(jié)果 AslH V@K  
K8UAz"  

圖片:1-20042G00314295.png

-PnC^r0L$  
E?XCL8NC  
參數(shù)掃描（1D） ,Mhe:^3  
)a^Yor)o"  

圖片:1-20042G00241125.png

S[a5k;8GL  
g&"(- :  
參數(shù)掃描（2D） (v`;ym  
Z8&C-yCC  

圖片:1-20042G0042K26.png

}m9LyT=~$  
R2$