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摘要 uW.)(l 94=aVM\>>
a;Nj'M~U ,{@,dw`lUz 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。 p'2ZDd=v 39W"G7n?v 建模任務(wù) w3^>{2iqq 7p}.r
J54
6 u3$ .Q pg}9baW? 觀測傾斜平面 x5Sc+5?* u&iMY3=
,j4 ;:F py,B6UB5 觀測柱面 uT5sLpA|6 BF*]l8p
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