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摘要 VX]Ud\( @ *n oma 當(dāng)用近軸光照明時(shí),亞波長光柵僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 zr^"zcfz& @ w?,7i-S
{q.|UCg[L DQ9}('^ 1. 建模任務(wù) Ob@HzXH xy+hrbD)j
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zCI.^^<? kWbD?i- 3. 文件和技術(shù)信息 O[W/=j[ O1Nya\^g<I
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