光控一般分直射和反射控制。 {q,?<zBzu
就是監(jiān)控監(jiān)控片或者產(chǎn)品的光學(xué)特性變化,來測(cè)量光學(xué)膜厚。 IP ,.+:i
當(dāng)光學(xué)膜厚是1/4入和其整數(shù)倍的時(shí)候,光量值會(huì)到達(dá)波峰或者波谷(稱之為PEAK)。 1k[GuG%/K
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其實(shí)我們可以把光控看成一個(gè)小型的只測(cè)固定波長(zhǎng)的分光儀加一臺(tái)電腦, 3z3_7XI
電腦根據(jù)測(cè)到的光量值來計(jì)算截止點(diǎn) ,q#2:b<E
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