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摘要 n#lbfN 4 @C)s4{V 掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性,只有當(dāng)光程差在相干長度內(nèi),干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 (/e&m=~ gQy%T]
m,k0 h% T/_u;My; 建模任務(wù) ppyy0E^M 42NfD/"g+s
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