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    [推薦]不同輪廓亞波長光柵的成像 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-09
    1. 摘要 @uI?  
    DS#c m3  
    亞光波長光柵在用傍軸光照射時僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下不會形成圖像。 為了克服此問題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場被另一個高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長光柵。 {fGd:2dh  
     mR{CVU  
    2. ·建模任務 n S_Ta  
    GXDC@+$14  
    N$\ bg|v  
    3. 結果 !dU9sB2  
    h>}ax\h  
     \#4m@  
    4. 文件和技術信息 A}t