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    [分享]受粗糙光柵表面影響的光柵級次效率分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-26
    該案例介紹了一個正弦光柵的仿真，該光柵表面具有隨機變化的粗糙度結(jié)構(gòu)。此外，分析了對衍射級次的影響，特別是衍射效率。 n9hm790x-  
    K|^wc$  
    1. 建模任務 RR|\- 8;  
    .BZVX=x  
     "{BqtU*.  
     一個正弦光柵不同衍射級次的嚴格分析和優(yōu)化。 Ax<\jW<  
     對于該仿真，采用傅里葉模態(tài)法。 mLwY]2T"  
     sQ1jrkm  
    2. 建模任務：正弦光柵 eaZQ2  
    Nhf~PO({&  
    x-z方向(截面視圖) \0*l,i1&  
    zFhgE*5  
    jBtj+ TL8  
    光柵參數(shù)： <' m6^]:  
     周期：0.908um Tz-X o  
     高度：1.15um {aDFK;qG.  
    (這些參數(shù)提供了一個具有均勻分布傳輸效率0級和±1級衍射級次，詳見案例341) ;j} yB  
    VcgBLkIF  
    3. 建模任務 :@. ;  
     '3 ,\@4  
    g`,AaWlF  
    oRY!\ADR  
    Q GPw2Q  
    VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級次分析器，可對光柵衍射效率進行嚴格的計算。 /g.]RY+u|x  
    c{3rl;Cs  
     利用該分析器，也可以分別計算出現(xiàn)的每個衍射級次的衍射效率。 _PXdzeI.  
    G*n2Ii  
    UH3t(o7O  
    Dgi~rr1`'s  
    4. 光滑結(jié)構(gòu)的分析 Zz"}Cz:bX  
    9'KonW  
     #Ob]]!y  
    8k!6b\Imz  
     計算衍射效率后，結(jié)果可在級次采集圖中顯示。 Wk7WK` >i  
     對于光滑結(jié)構(gòu)，參數(shù)平穩(wěn)，0級和±1衍射級次的傳輸效率大約為32% : d' 5O8  
    5vOC