示例.0082(1.0) GeTCN &'2l_b 關(guān)鍵詞:光線追跡,高數(shù)值孔徑,點(diǎn)列圖,光斑尺寸 I,?LZ_pK
P3FpU<OBwp 1. 描述 "MP{z~Mmj ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對(duì)一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 )4~XZt1r ■ 我們將對(duì)焦面前和焦面上對(duì)三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 .z7f_KX^ ■ 此外,VirtualLab可用于測(cè)量焦平面上的光斑尺寸。 vKLG9ovlY
/ ^M3-5@Q 2. 系統(tǒng) dsoRPX']= ;.m[&h 0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^o<Nz8 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 }(O
kl1
93b5S>&r
■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 ATewdq[C
■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 E0Xu9IW/A
■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 yf>,oNIAg
■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 o%Q'<0d
~2;y4%K 1:V/['|*g) 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) $k=rd#3 I`lH6hHp t?&ajh
■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。 ;yoq/
■ 可以選擇選取光線的方法: n8C {Okr
— 在x-y-網(wǎng)格 \05C'z3]
— 六邊形 aa3YtNpP
— 自由選取 3p#^#1/_
■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 iKO~#9OF ,FPgs0rrS 5. 系統(tǒng)的3維視圖 h 'CLf] v3]M;Y\
]sIFK 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) yZ6X$I:C ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明
KX@Fgs ■ 照明波長(zhǎng)266.08nm _J`M>W)8 ■ 后端的探測(cè)器用來(lái)分析透鏡系統(tǒng)的性能: h<jIg$rA — 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 LDNUywj@w — 一個(gè)虛擬屏位于焦平面 8;bOw — 光束尺寸探測(cè)器置于焦平面 hD=D5LYAZ ■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。 |LhuZ_;1xo g-`NsqzD '/@VG_9L] -#hl&^u$ 'c]&{-w<i 7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果 -UE-v svII =JB 光線經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖
iWsIc\!+, 光線經(jīng)過(guò)整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖(局部放大)
IEj`:]d ={d\zjI$ gNBI?xs`p D=+sD"<| GR9F^Y)