請教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時(shí)候，9層膜系  ti2o5  大概250nm  科達(dá)公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0   離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？ JBOU$A~  
外面采購的鍍膜四個(gè)側(cè)邊沒有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴(kuò)散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個(gè)產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

我看到好多資料有提到退火一說，這個(gè)我鍍前鍍后  80度  2h也沒有什么變化

離子源和電子槍對板子都有加熱作用。 4, Vx3QFZ  
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會造成板子變形。 .8ikcs  
你兩面都鍍一下看看

ouyuu:離子源和電子槍對板子都有加熱作用。 wxvVtV{u>|  
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會造成板子變形。 3y:),;|5  
你兩面都鍍一下看看 (2021-02-10 03:29)  94*MRn1E  

k!+v*+R+V  
我現(xiàn)在嘗試了很多種辦法，最可疑的是我低溫不加離子源也是會變形的，我現(xiàn)在懷疑冷卻水流速壓力不夠，0.3是否需要提高到0.4，另一則，我腔體、門上和工架傘都包了錫紙了，是不是間接的把輻射都給了鏡片了，不知道有影響不

片子尺寸大厚度薄，應(yīng)該是膜層應(yīng)力作用導(dǎo)致片子變形

http://www.www.whymw.com/job.php?action=download&aid=105794 $O\]cQD`u  
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。

ouyuu:http://www.www.whymw.com/job.php?action=download&aid=105794 dJmr!bN\;  
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  Gii1|pLZ1  

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非常感謝

ouyuu:http://www.www.whymw.com/job.php?action=download&aid=105794 oi/bp#(fa  
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  P{h$> 6c  

c=\H&x3X  
這個(gè)文章我閱讀過了，目前已經(jīng)解決了這個(gè)難題，影響的因素很多，么辦法說準(zhǔn)確的就是降低離子能量就一定會好，一定程度和基底的殘余應(yīng)力有相當(dāng)?shù)年P(guān)系。

一般這種情況我們會兩面鍍，這樣兩面應(yīng)力能夠抵消。

對，進(jìn)行兩面鍍膜，還有就是匹配好基板和膜層間的應(yīng)力