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摘要 6S<J'9sE T4J (8!7 光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀，近眼顯示系統(tǒng)等多種光學(xué)系統(tǒng)。VirtualLab Fusion通過應(yīng)用傅立葉模態(tài)法（FMM），以簡(jiǎn)易的方式提供對(duì)任意光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析。在光柵工具箱中，可以在堆棧中使用界面或/和介質(zhì)來配置周期性結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面非常人性化，并且允許生成更復(fù)雜的光柵。在該用例中，討論了由FMM實(shí)現(xiàn)衍射級(jí)次偏振狀態(tài)的研究。 [fO \1J lE$X9yIt  F7cv`i?2." 概述 wGLZzqgq p>65(&N , 9M<qk si
•本文的主題是光在周期性微結(jié)構(gòu)處的衍射后的偏振態(tài)。 }3=]1jH6
•為此，如示意圖所示，在示例性二元光柵結(jié)構(gòu)和錐形入射處研究零級(jí)反射光。 Ol D]*=.cO
•為了在特定示例中討論該主題，在第二部分中根據(jù)Passilly等人的工作（2008年）選擇光柵配置和相應(yīng)參數(shù)。 ~/ iE
W[w8 @OCNf
 ^5j9WV fZT=q^26
衍射級(jí)次的效率和偏振 Pou`PNvH T+N%KRl BWfsk/le j
•通常，為了表征光柵的性能，給出了傳播級(jí)次的效率（η）。 ZIkXy*<(
•該效率值包括該特定級(jí)次的所有光的能量，但并不區(qū)分最終出現(xiàn)的不同偏振狀態(tài)。 y`7BR?l
•在嚴(yán)格模擬光柵效率的過程中，例如利用傅里葉模態(tài)法，通過使用復(fù)數(shù)場(chǎng)求解均勻介質(zhì)的波動(dòng)方程（也稱為亥姆霍茲方程）。 (A/V( .!
•因此，對(duì)于每個(gè)衍射級(jí)次（𝑛）和偏振態(tài)，算法的結(jié)果以復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)給出。 [p[Kpunr{l
•特定級(jí)次（𝑛）的效率表示入射光的功率與輸出衍射級(jí)的光功率之間的關(guān)系。它是從瑞利系數(shù)計(jì)算出來的。 O N]
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 MXSPD# gN b2r@vZ]D 光柵結(jié)構(gòu)參數(shù) gtVI>D'(W cZ%weQa#N) N3 07lGb
•此處探討的是矩形光柵結(jié)構(gòu)。 $iupzVrro
•為簡(jiǎn)單起見，選擇光柵的配置，僅使反射中的零級(jí)次（R0）傳播光線。 Abd&p N
•因此，選擇以下光柵參數(shù)： `=vL?w^QS
- 光柵周期：250 nm SA)}---"
- 填充系數(shù)：0.5 _{C:aIl[2
- 光柵高度：200 nm ixE72bX
- 材料n1：熔融石英 Ql3hq.E
- 材料n2：TiO2（來自目錄） b
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