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摘要 gt\kTn." ?C']R(fQ\ 通常,計算模型中假設的理想化結果明顯偏離現實。 其中一個例子是在蝕刻結構中具有尖銳邊界的微結構的設計:制造技術不能實現完美的銳利壁,而是產生更圓的邊緣。 該可編程模塊應用于所設計結構的銳利結果,根據用戶指定的值對其邊緣進行圓整,以便分析更真實的結構。 'V\V=yc1 Kl<NAv%j }ld^zyL 7&u$^c S( 用于平滑結構邊緣的可編程模塊 ] !n3j=* HlEHk' Hwcm
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