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摘要 ZrY#B8 D![42H+-Qd 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。 <vMna< /d <xM$^r)
tLCu7%P> 9V&}% 建模任務(wù) Z]?Tx2|7 O/g|E47 EdGA#i3 ^u'hl$`^ 傾斜平面下的觀測條紋 9/A$3#wF aAM!;3j]B`
l{b<rUh5W _vOV(#q2a 圓柱面下的觀測條紋 VB>KT(n-b |;xm-AM4r &Tz@lvOv% GX2aV6} 球面下的觀測條紋 *u
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