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摘要 10I` AjF0 ^xNe Eb 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 J'^$|/Q
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{_X1&&>8/ 建模任務(wù) rB&j"p}Q H[ !Q  eKFc
W5O 概述 :2Rci`lp ?O>JtEz~lQ •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 f`]E]5? •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 yY-t4WeXP @NwM+^
 k+GK1Yl 2c`=S5 光線追跡仿真 2gR_1*| otH[?c?BT •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 Sq8Q * •單擊go！ ,~ ?A.
5 •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 YGp p:8pen a; ow G/\p
 +P)[|y +e `k%#0E*H 光線追跡仿真 Qufv@.'AY S9#N%{8P •然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 3pjYY$' •單擊go！ RT A= |q •結(jié)果得到點(diǎn)圖（二維光線追跡結(jié)果）。 wp GnS QT l._j@
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