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摘要 aFTWzz :*Wq%Y=
對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說,光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用,眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 l!tR<$| MKBDWLCB
yqx5_} +x2JC' -H 建模任務(wù) m{Q
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8&2+=<Q~ pkn^K+<n, 1階的參數(shù)優(yōu)化 Cy;UyZ c]^P$F8U
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"`% ,l|D %B$ftsYXmu 結(jié)果-容差分析 3}|[<^$ ;u<Ah?w=Z
^QS`H@+Z ]X6<yzu&+l 在VirtualLab Fusion中查看 :{%[6lE^G ]E/0iM5 %,@pV%2 >.
K VirtualLab Fusion的工作流程 yT7$6x Fl`U{03 •構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) kvwnqaX - 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] hZJ~zx~ - 傾斜光柵的高級配置[用例] Dj\nsc@e3 •分析光柵衍射效率 m4/qxm"Dx: - 光柵級次分析器[用例] ,6>3aD1w~q •使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) VVeJe"!t •使用參數(shù)運行進(jìn)行容差分析 h3@tZL#g - 參數(shù)運行文檔的用法[用例] ~Zr}QO}G S`kOtZ_N n
U`(=iyWP= Y9^l|,bm5 VirtualLab Fusion技術(shù) 0+CcNY9 t{>K).'
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