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本案例介紹利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化,通過優(yōu)化擴散器以生成一個圓形的top hat。 3rNc1\a; Jt]&;0zn2 關鍵詞:衍射光學,衍射光學元件,均勻(homogenization),擴散器,準分子激光,部分相干 4z_n4= IE;\7r+h 所需工具箱:Starter Toolbox Premium <B) 'w.}2( 相關Tutorials:HSL.1, DO.2 j0x5@1`6G & fu z2xv 建模任務 cKjRF6w 衍射擴散傳輸器 目標平面 U;U08/y u]M\3V. |@RpWp>2 準分子激光 聚焦透鏡(f=20mm) 強度分布 s?c JV` OPuj|%Wgw T@P!L 照射光束參數(shù) `\N]wlB2/b E!!
alc{ ·光源面尺寸:100×100um 51
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