上海光機所提出優(yōu)化光刻膠飛秒激光多光子聚合效率新方案
近期,中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所薄膜光學(xué)實驗室在提升光刻膠的飛秒激光多光子聚合效率方面取得進展。研究團隊通過在光刻膠中引入帶有非線性吸收效應(yīng)的溶劑,有效降低了光刻膠的多光子聚合閾值,拓寬了光刻膠的飛秒激光加工窗口,并能夠優(yōu)化飛秒多光子聚合加工的精度。相關(guān)成果以“An easy method to improve efficiency of multi-photon polymerization: Introducing solvents with nonlinear optical absorption into photoresist”為題發(fā)表在《光學(xué)與激光技術(shù)》(Optics and Laser Technology)上。 |




