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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-07-05
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 9ZY,T]ym?  
    "QiLu=Rq  
    L*vKIP<EMM  
    Qj(ppep\U"  
    建模任務(wù) {I?)ODx7qC  
    u3tT=5.D  
    Sw5-^2x0'  
    kBoQjOV`  
    入射平面波 _z 5W*..  
    波長 2.08 nm T5.^ w  
    光斑直徑: 3mm K1]3zLnS  
    沿x方向線偏振 S3E5^n\\  
    #V#!@@c;?  
    如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? wArfnB&  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布? AS;qJ)JfzQ  
    ijzwct#.  
    概覽 4fjwC,,  
    •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 g0B%3v  
    •接下來,我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 WLfDXx 2A  
    r`h".=oD  
       > '. : Acn  
    光線追跡模擬 Q {BA`Q@V  
    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為模擬引擎。 kY{$[+-jR  
    •點擊Go! #k`gm)|  
    •獲得3D光線追跡結(jié)果。 K' <[kh:cl  
    b`^Q ':^A  
    ('Uj|m}9  
       <1<xSr  
    光線追跡模擬 S9r+Nsn  
    •然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為模擬引擎。 .q[}e);)  
    •單擊Go! ylQj2B,CB  
    •結(jié)果,獲得點圖(2D光線追跡結(jié)果)。 ]yZ%wU9!  
    uKvdL "  
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