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- 注冊時間2020-06-19
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 9ZY,T]ym? "QiLu=Rq
L*vKIP<EMM Qj(ppep\U" 建模任務(wù) {I?)ODx7qC u3tT=5.D
Sw5-^2x0' kBoQjOV` 入射平面波 _z 5W*..
波長 2.08 nm T5.^
w 光斑直徑: 3mm K1]3zLnS 沿x方向線偏振 S3E5^n\\ #V#!@@c;? 如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析? wArfnB& 如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布? AS;qJ)JfzQ ijzwct#. 概覽 4fjwC,, •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 g0B%3v •接下來,我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 WLfDXx2A r`h".=oD >'.: Acn 光線追跡模擬 Q {BA`Q@V •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為模擬引擎。 kY{$[+-jR •點擊Go! #k`gm)| •獲得3D光線追跡結(jié)果。 K'
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('Uj|m}9 <1<xSr 光線追跡模擬 S9r+Nsn •然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為模擬引擎。 .q[}e);) •單擊Go! ylQj2B,CB •結(jié)果,獲得點圖(2D光線追跡結(jié)果)。 ]yZ%wU9!
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