[7}3k?42X 這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維
光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
e%e.|+ 9D14/9*(dU 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)
波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度
S偏振光照明的場(chǎng)矢量
tU?BR<q 
P偏振光照明的場(chǎng)矢量 K~d'*J-
"73*0'm 后處理傅里葉變換計(jì)算透射
衍射級(jí)次的振幅。
\:+\H0 Bz 6 rnFXZ\ 參數(shù)掃描
=0?5hxM
