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在傳統(tǒng)的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態(tài)方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進(jìn)行建模。可以檢測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現(xiàn)柱狀圖案，而在次要像平面中再現(xiàn)孔圖案。 CQr<N w  
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建模任務(wù) r"a5(Q;n  
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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) v-Fg +  
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系統(tǒng)建模塊 M$d%p6Cv 明星| 永清县| 彭水| 呼玛县| 青龙| 靖边县| 绍兴县| 姚安县| 泰州市| 永清县| 昭觉县| 饶河县| 鄂州市| 巴彦淖尔市| 民勤县| 登封市| 古田县| 元谋县| 台安县| 武平县| 东明县| 青海省| 金华市| 莱西市| 沭阳县| 塘沽区| 锦屏县| 龙游县| 同心县| 原阳县| 舟山市| 安国市| 全椒县| 普宁市| 柘城县| 康马县| 浦江县| 射阳县| 元谋县| 行唐县| 锦屏县|