機(jī)型:OPTORUN1850 O}P`P'Y|'  
AS膜厚15nm. n ;Ei\\p!  
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? S:Hl/:iV  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 O<I-
  
如果蒸發(fā)源在靠門(mén)的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 so; ]&  
pdMc}=K  
另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。 :DNjhZ  
你可以試著空抽幾分鐘后再開(kāi)阻蒸

路過(guò)學(xué)習(xí)看看呢

學(xué)習(xí)看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 s1rCpzK0  
如果蒸發(fā)源在靠門(mén)的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。 ixFi{_  
你可以試著空抽幾分鐘后再開(kāi)阻蒸 (2022-12-01 21:36)  +0&/g&a\R  

NUZl`fu1Z4  
真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX  &HW9Jn  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  GOPfXtkC  

LoV<:|GTI  
真空度代表了蒸發(fā)源的平均自由程，平均自由程影響分布。 ;uJMG  
真空度越高平均自由程越大，這樣到達(dá)遠(yuǎn)端的材料就越多。 R_C)  
1?}T=)3+$  
只能說(shuō)影響分布，具體分布哪部分增多哪部分減少， V!
Uc(  
還要看具體的蒸發(fā)源位置，傘形，傘的高度，排氣口高度等等

換材料，增加厚度

厚度不夠，換材料