摘要 3mIX9& / A}#@(ma7 復雜
光學光柵結構被廣泛用于多種應用，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結構嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復雜的光柵結構。本案例主要集中于具有二維周期光柵結構的配置。
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b &g9A{t 1. 本案例主要說明：
cz/mUU 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結構，通過：
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