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摘要 SKdh !*G
0Q)m>oL. 5f- eWW]! 線柵偏振器，可以使透射光產(chǎn)生線性偏振狀態(tài)，是眾多應(yīng)用中常見的一種光學(xué)元件。由于它們的結(jié)構(gòu)在亞波長(zhǎng)范圍內(nèi)，因此必須對(duì)光的傳播進(jìn)行嚴(yán)格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內(nèi)置的RCWA能夠詳細(xì)分析和優(yōu)化，不僅是偏振器，還有抗反射結(jié)構(gòu)和其他類型的光柵。它提供了與偏振有關(guān)的反射和/或透射衍射階數(shù)的信息，同時(shí)還可以分析效率與波長(zhǎng)和/或入射角的關(guān)系。 lm bC2\GT 8w\ZY>d
任務(wù)描述 of<(4< T
%h^ f?.( : 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數(shù)的偏振狀態(tài)。 T:|PSJc0 ]N4?*S*jd) 光柵式光學(xué)裝置中的偏振分析器
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`;v5o4.` Pq<]`9/w^w 編輯偏振分析器 #bZT&YE^
7|B g--G1 0)HZ5^J -該分析器計(jì)算了所定義結(jié)構(gòu)的每個(gè)衍射階數(shù)的兩個(gè)正交偏振狀態(tài)的效率之和（無(wú)論是透射還是反射）。 Y$K[@_dv= -為此，在相應(yīng)系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。 Og E<b w
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