[求助]需要一種測(cè)量器件翹曲變形的方法 [復(fù)制鏈接]

離線尚未

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2005-11-22

哪位能提供一點(diǎn)思路嗎？變形量可能很小，微米級(jí)的。
要在200度左右的溫度看器件的變形情況。用光學(xué)方法是否能實(shí)現(xiàn)？據(jù)說(shuō)有用干涉測(cè)量?jī)x測(cè)的，但是不知道人家怎么做的。。。

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離線whj

只看該作者 1樓發(fā)表于: 2005-11-24

不太容易，雖說(shuō)干涉儀可以測(cè)翹曲，可你的器件的溫度太高，空氣擾動(dòng)太厲害，很難得到穩(wěn)定條紋。


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