PanDao軟件當(dāng)前可以接受ISO10110標(biāo)準(zhǔn)定義的形狀精度參數(shù)格式3/A(B),其中A代表功率公差,B代表不規(guī)則性。
測量單位是條紋數(shù),表示的是波前偏差(非表面高度偏差),該方法源自光學(xué)大師手工拋光制作測試板(T)進(jìn)行面形偏差測量的傳統(tǒng)技術(shù)(該檢測裝置也見于斐索干涉儀中)。
被測表面(S)的面形誤差(表面高度H)是通過將表面的形狀與測試板(T)的標(biāo)準(zhǔn)形狀(通常精度<1/20波長)進(jìn)行對比測量得到的。具體方法是使測試板反射光(T')與待測面反射光(S')發(fā)生干涉,此時表面S的高度偏差H在干涉圖中表現(xiàn)為2*H(即波前差)。
PanDao軟件默認(rèn)以546.07nm波長(汞綠光譜線)讀取形狀精度參數(shù)3/A(B)。546.1nm波長的光是由汞蒸氣燈在電激發(fā)下產(chǎn)生的綠色發(fā)射譜線,在激光技術(shù)問世前廣泛應(yīng)用于光學(xué)檢測、對準(zhǔn)及校準(zhǔn)。根據(jù)ISO10110標(biāo)準(zhǔn),用戶可通過修改3/@lambda中的相關(guān)條目來自由設(shè)定其它檢測波長。
例如,當(dāng)不規(guī)則性B對應(yīng)的高度偏差H為1微米時,B = (1000/546.07)*2 = 3.66條紋;若功率誤差對應(yīng)高度偏差為2微米,則該表面的形狀精度參數(shù)為3/7.32(3.66)。