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    [技術]用于微結構晶片檢測的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 05-28
    摘要 "huFA|`  
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    在半導體工業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)被用來檢測晶片上的缺陷并找到它們的位置。為了確保微結構所需的圖像分辨率，檢測系統(tǒng)通常使用高NA物鏡，并且工作在UV波長范圍內。作為例子，我們建立了包括高NA聚焦和光與微結構相互作用的完整晶片檢測系統(tǒng)的模型，并演示了成像過程。 Wu_kx2h  
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    任務描述     30.@g[~  
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      微結構晶圓 vbD{N3p)?n  
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