摘要                                                                             l
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由于制造過程中潛在的不準確性，對于一個好的光柵設計來說，面對光柵參數(shù)的微小變化，提供穩(wěn)健的結果是至關重要的。VirtualLab Fusion為光學工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結合了同一系統(tǒng)的多次迭代，在優(yōu)化過程中實現(xiàn)了評價函數(shù)的表示和自動計算，如平均效率。在這個用例中，我們通過稍微改變填充因子來優(yōu)化傾斜光柵來演示這個特性。             UFT JobU  
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仿真任務                                                                             *<S>PbqLw  
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連接建模技術:傾斜光柵 :8eI_X  
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可用的微結構建模技術: `XH0S`B  
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光柵階數(shù)分析儀 r@C~_LgL)  
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參數(shù)變化分析儀                                                                             o/7u7BQl2  
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