所謂準分子激光，是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以稱為準分子，是因為它不是穩(wěn)定的分子，是在激光混合氣體受到外來能量的激光所引起的一系列物理及化學反應中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子，其壽命僅為幾十毫微秒，準分子激光是一種脈沖激光，因諧振腔內(nèi)充入不同的稀有氣體和鹵素氣體的混合物而有不同波長的激光產(chǎn)生。波長范圍為157－353nm。