從原理上說，激光能適應任何材料的加工制造，尤其在一些有特殊精度和要求、特別場合和特種材料的加工制造方面起著無可替代的作用。本文綜合評述了激光制造系統的發(fā)展以及激光制造技術在現代產業(yè)中的地位。在分析國外研究動向的基礎上，指出激光制造技術的發(fā)展趨勢將重點定位在微結構、微刻蝕、微工具以及多功能性微技術、微工程的研究與開發(fā)上。可以預測，三維微納尺度的激光微制造技術必將成為新世紀的主流制造技術。 *0EB{T1  
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    前 言 RDX$Wy$@L  
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    自1960年第一臺激光器問世以來，激光的研究及其在各個領域的應用得到了迅速的發(fā)展。其高相干性在高精密測量、物質結構分析、信息存儲及通信等領域得到了廣泛應用。激光的高單色性，可在光化學領域對一些相距很近的能級作選擇激發(fā)，進行重金屬的同位素分離；激光的高方向性和高亮度可廣泛應用于加工制造業(yè)（大到航天器、飛機、汽車工業(yè)，小到微電子、信息、生物細胞分離等微技術）。隨著激光器件、新型受激輻射光源，以及相應工藝的不斷革新與優(yōu)化，尤其是近20年來，激光制造技術已滲入到諸多高新技術領域和產業(yè)，并開始取代或改造某些傳統的加工行業(yè)。 S:.Vt&+NJ  
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    激光制造技術包含兩方面的內容，一是制造激光光源的技術，二是利用激光作為工具的制造技術。前者為制造業(yè)提供性能優(yōu)良、穩(wěn)定可靠的激光器以及加工系統，后者利用前者進行各種加工和制造，為激光系統的不斷發(fā)展提供廣闊的應用空間。兩者是激光制造技術中不可或缺的環(huán)節(jié)，不可偏廢。激光制造技術具有許多傳統制造技術所沒有的優(yōu)勢，是一種符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的綠色制造技術。例如，材料浪費少，在大規(guī)模生產中制造成本低；根據生產流程進行編程控制（自動化），在大規(guī)模制造中生產效率高；可接近或達到“冷”加工狀態(tài)，實現常規(guī)技術不能執(zhí)行的高精密制造；對加工對象的適應性強，且不受電磁干擾，對制造工具和生產環(huán)境的要求低；噪聲低，不產生任何有害的射線與殘剩，生產過程對環(huán)境的污染小等等。因此，為適應21世紀高新技術的產業(yè)化、滿足宏觀與微觀制造的需要，研究和開發(fā)高性能光源勢在必行。目前正在積極研制超紫外、超短脈沖、超大功率、高光束質量等特征的激光，尤其是能適應微制造技術要求的激光光源更是倍受關注，并已形成國際性競爭。可以預言，激光制造技術必將以其無可替代的優(yōu)勢成為21世紀迅速普及的高新技術。 !>n^ ;u  

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    1 激光制造系統發(fā)展 @X$~{Vp__  
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    用于制造業(yè)中的激光系統即激光制造系統，一般由激光器、激光傳輸系統、激光聚焦系統、控制系統、運動系統、傳感與檢測系統組成，其核心為激光器。 Hp#IOsP~  
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  激光作為熱源或光源（能量）是激光制造中的“刀具”或“工具”。該“刀具”或“工具”的質量直接影響著加工制造的結果。激光光束質量的好壞可以采用光束遠場發(fā)散角、光束聚焦特征參數值kf和衍射極限倍因子m2(m)或光束傳輸因子k值來表示。對小功率激光器，工作物質均勻穩(wěn)定，一般可以實現基模輸出，其光束橫截面能量分布為高斯分布，且在傳輸過程中保持不變，光束質量較好；對于大功率激光器，一般不易得到基模輸出，輸出的往往為多模激光束，激光光束質量變差（如圖1）。目前工業(yè)上常用的大功率激光器有co2激光器和yag激光器兩種。大功率激光器的工業(yè)應用領域很廣，激光切割、激光焊接都需要優(yōu)良的光束質量，而追求高光束質量的大功率激光是工業(yè)用激光器不斷發(fā)展的目標。 e-4 Qw#cw  
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    從1964年第一臺co2激光器出現到現在，經過近四十年的發(fā)展，從封離式co2激光器、慢速軸流co2激光器、橫流co2激光器，到高頻羅茲泵型快速軸流、射頻turbo型快速軸流以至目前出現的擴散型slab　co2激光器的發(fā)展中可以看到,一方面激光輸出功率不斷提高，體積不斷縮小，另一方面激光器的效率不斷提高，光束質量越來越好。擴散型slab co2激光器光束橫截面上光強分布接近高斯分布（如圖2），具有極好的光束質量，在加大的激光加工工作區(qū)焦點的漂移很小，非常有利于大范圍激光傳輸與聚集，這對大尺寸工件的切割應用非常重要。 v;%>F)I  
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    工業(yè)用固體yag激光器也經歷了從小功率燈泵浦（棒狀）、燈泵浦（板條）、雙燈泵浦（多棒）到光纖泵浦（棒狀）、半導體泵浦（棒狀）和片狀固體激光器的過程。由于受工作物質熱物理性質的制約，yag激光光束質量模式相對較差。如何提高光束質量和激光功率，仍是yag激光器面臨的主要問題。 }K rQPg  
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    值得注意的是近年來發(fā)展起來的半導體激光器。半導體激光器具有小型化、頻率極高、與光纖良好耦合、易于調制等優(yōu)良特性，因而具有廣闊的應用前景。 (IE\}QcK  
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    要在不同產業(yè)中廣泛應用激光制造技術，很大程度上要依賴于激光加工系統的性能與工藝。歐、美、日一些國家在新光源、加工系統及工藝等方面的研究與開發(fā)就從未降溫過。隨著激光工作物質的研究與開發(fā)、器件與單元技術的改進和創(chuàng)新，以高性能、寬波段、大功率為特征的激光取得了蓬勃的發(fā)展，如紫外光輸出的krf、arf準分子激光器、倍頻激光器等。尤其是高功率光纖激光的出現，使激光制造的移動式定位加工變得更加便利。 ^]{)gk8P~2  
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2 激光制造技術應用 Vr|sRvz  
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    激光制造技術與傳統的制造技術相比，其突出的優(yōu)勢主要體現在以下幾個方面： 53g(:
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    （1）特種材料特殊要求的加工 Cyn_UE  
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    激光焊接與大多數傳統的焊接方法相比具有突出的優(yōu)點。激光能量的高度集中和加熱、冷卻過程的極其迅速，可破壞一些難熔金屬表面的應力閾值，或使高導熱系數和高熔點金屬快速熔化，完成某些特種金屬或合金材料的焊接，而且在激光焊接過程中無機械接觸，容易保證焊接部位不因熱壓縮而變形，還排除了無關物質落入焊接部位的可能；如果采用大焦深的激光系統，還可實現特殊場合下的焊接，比如，由軟件控制的需隔離的遠距離在線焊接、高精密防污染的真空環(huán)境焊接等；在不發(fā)生材料表面蒸發(fā)的情況下可熔化最大數量的物質，達到高質量的焊接。以上特點是傳統的焊接工具與方法很難或完全不能做到的。目前，在汽車、國防、航空航天等一些特殊行業(yè)，已普遍采用激光焊接技術2。例如歐洲一些國家，對高檔汽車車殼與底座、飛機機翼、航天器機身等一些特種材料的焊接，激光的應用已基本取代了傳統的焊接工具和方法。 acPX2B[jJ  
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    （2）特殊精度的加工制造 <w9<G  
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    這里指的高精度除通常意義下的精確定位外，主要還體現在材料內部熱傳導效應量級上的控制。激光的顯著特點之一，就是可采取連續(xù)和脈沖方式輸出。以固體的鉆孔與切割為例，激光能量高度集中，以及加熱、冷卻速度快的特點可實現傳統技術達到的普遍要求，加工屬熱化學過程。這里要突出的是，通過脈沖式激光輻射可達到接近“冷”加工的光化學動力過程。一方面選擇脈沖的時間寬度，使得材料內的熱傳導過程和熱化學反應來不及發(fā)生；另一方面通過控制激光的功率密度和脈沖計數，按要求達到確定的去除深度，從而實現高精度的“線”切割和“點”鉆孔加工。歐美一些國家在許多特殊要求的領域和產業(yè)中已普遍采用這種脈沖光制造技術。 xE0'eC5n^  
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    （3）微細加工制造 -45xa$vv  
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    激光微細加工技術最成功的應用是在20世紀后半葉發(fā)展起來的微電子學領域。激光微細加工作為微電子集成工藝中的單元微加工技術之一，現已形成固定模式并投入規(guī)模化生產中。除此之外，能突顯其優(yōu)勢的領域還有精密光學儀器的制造、高密度信息的寫入存儲、生物細胞組織的醫(yī)療等。選擇適當波長的激光，通過各種優(yōu)化工藝和逼近衍射極限的聚焦系統，獲得高質量光束、高穩(wěn)定性、微小尺寸焦斑的輸出。利用其鋒芒尖利的“光刀”特性，進行高密微痕的刻制、高密信息的直寫；也可利用其光阱的“力”效應，進行微小透明球狀物的夾持操作。例如，高精密光柵的刻制（精密光刻）；通過cad/cam軟件進行仿真圖案（或文字）和控制，實現高保真打標；利用光阱的“束縛力”，對生物細胞執(zhí)行移動操作（生物光鑷）。值得一提的是，高密度信息的激光記錄和微細機械零部件的光制造。無論是數字記錄或是掃描記錄，還是圖像與文字的模擬記錄，激光記錄方法(光刻)都具有特別的優(yōu)勢并取得了重要突破，以數字記錄為例：①信息記錄密度高（107～108bit/cm2以上），刻錄槽寬0.7μm、深0.1μm，比磁記錄密度提高兩個數量級以上；②記錄、檢索、讀出速度快，單波道達50mbit/s，多波道可達320mbit/s；信息的檢索和讀出速度遠遠小于1秒；③成本低、使用壽命長。在微細機械零部件的光制造方面，最近幾年國外已將其列為攻關項目，成為未來高新技術前期研究的熱點。日本采用激光技術，制造出微米量級的三維“納米牛”，這說明日本在微納量級的三維激光微成型機制上已經取得了巨大的進展。北京工業(yè)大學激光工程研究院應用準分子激光，通過掩模方法，已經加工出10齒/50μm和108齒/500μm的微型齒輪。 7uI~Xo?N  
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（4）高效的自動流程加工制造 {&I3qk2(  
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    由于激光輸出的可控制性，使激光制造過程能夠通過軟件實行自動化流程的智能控制。根據生產性質的需要，既可實行加工臺的定位控制亦可通過激光的光纖傳輸實行加工頭的機器手定位控制，從而實現高效的自動化、智能化激光制造。比如，汽車車身覆蓋件的三維定位切割、車身骨構架的焊接、齒輪盤及其他零部件的焊接加工等，已形成激光加工、組裝一條龍的生產線。 JSCZX:5  
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    3 激光微制造將成為新世紀高新技術產業(yè)的主流技術 3|Vh[iAa\  
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    諾貝爾物理學獎獲得者richard　feynman早在50年代末就曾預言，制造技術將沿著從大到小的途徑發(fā)展，即用大機器制造出小機器，用這種小機器又能制造出更小的機器，并由此在微小尺度領域制造出一代代的批量加工工具。科學技術的革命證實了feynman的預言。微電子技術的出現就是最有說服力的例子，從集成到大規(guī)模集成到超大規(guī)模集成技術的迅猛發(fā)展中，已經顯示出未來的制造技術必將沿著“越來越小”的方向進軍。20世紀把電子技術的主要功能高度集成在一起，形成了世紀標志的高技術產業(yè)，并滲透到人類活動的各個領域。21世紀則是多門學科的集成技術，即把微電子、微光學、微機械以及傳感器、執(zhí)行器的信號處理單元集成在一起的微納制造和微系統技術。微納制造技術與功能微系統將成為21世紀高新技術與產業(yè)的里程碑，其發(fā)展將使人類在認識和改造自然的能力上達到一個新的高度，導致人類生活和社會物質文明及科學技術的巨大變革。 字串6 P {8d.  
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    美國在80年代末就意識到微納制造技術與微系統研究的緊迫性，強調美國“應該在這樣一個新的重要技術領域與其他國家的競爭中走在前面”，并啟動了第一個研究計劃。進入90年代后，日本也開始實施為期10年、總投資為250億日元的“微型機械技術”大型研究開發(fā)計劃。為尋求適應微系統制造的三維結構精細微加工的技術途徑，歐共體組織了德國漢諾威激光中心和法國、瑞士、意大利等國的相關科研機構，進行合作開發(fā)研究。目前在微納制造技術上已經形成國際性競爭，已經開始新世紀高技術產業(yè)全球市場的爭奪戰(zhàn)。 uhf% zG  
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    目前的研究進展也已經顯示，激光微技術是有發(fā)展?jié)摿Φ娜�維微制造技術，將可能成為微系統制造的主流技術之一。德國國家教研部從2002年開始，出臺了為期五年的光學資助計劃，其中重要的一項內容就是激光微制造技術的研究。該計劃僅2002年的資金投入就是0.478億歐元，后續(xù)幾年的投入按一定比例遞增。德國采取分解式的單元技術研究，在光的微制造與微納技術的硬件方面，五年研究規(guī)劃的目標定位在新的激光光源和超精細聚焦系統上，達到150～0.1nm光譜范圍的超紫外輸出和能越過衍射極限、分辨率小于100nm的高重復性近場透鏡。 ws_/F  
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微納光制造及其相關技術，是當前國際競爭的主要領域，微電子產業(yè)的規(guī)模和技術水平已成為衡量一個國家綜合實力的重要標志之一，激光微技術將在這個領域發(fā)揮更大作用。我國在現代光制造發(fā)展方面，機遇與挑戰(zhàn)并存，我們要抓住機遇，迎接新世紀光制造時代的到來。