IBM研制出首款由石墨烯圓片制成的集成電路
美國(guó)《大眾科學(xué)》報(bào)道,IBM的科學(xué)家研制出了首款由石墨烯圓片制成的集成電路,向開(kāi)發(fā)石墨烯計(jì)算機(jī)芯片前進(jìn)了一步。科學(xué)家們認(rèn)為,這項(xiàng)突破可能預(yù)示著,未來(lái)可用石墨烯圓片來(lái)替代硅晶片,相關(guān)研究發(fā)表在最新一期《科學(xué)》雜志上。 這塊集成電路建立在一塊碳化硅上,并且由一些石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管組成。去年,IBM公司托馬斯·沃森研究中心科學(xué)家林育明領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)展示了首塊基于石墨烯的晶體管,其能在100G赫茲的頻率上運(yùn)行,但這次,該團(tuán)隊(duì)將其整合進(jìn)一塊完整的集成電路中。 多個(gè)科研團(tuán)隊(duì)在研制石墨烯晶體管和接收器中遇到了幾大障礙:首先,石墨烯這種纖薄的單原子層薄片很難同制造芯片所用的金屬和合金匹配到一起。另外,在蝕刻過(guò)程中,石墨烯很容易受損。 林育明團(tuán)隊(duì)找到了一種新方法——通過(guò)在一塊碳化硅晶圓的硅面上種植石墨烯,清除了這些障礙。接著,他們將石墨烯包裹進(jìn)一個(gè)聚合物內(nèi),進(jìn)行必須的蝕刻過(guò)程,隨后再用一些丙酮將這些聚合物清除。 研究人員表示,該晶體管門(mén)的長(zhǎng)度僅為550納米,整個(gè)集成電路僅為一顆鹽粒那么大。而且,這種生產(chǎn)過(guò)程也可用于其他類(lèi)型的石墨烯材料,包括將化學(xué)氣相淀積(CVD)石墨烯膜合成在金屬膜之上,也可用于光學(xué)光刻以改善成本和產(chǎn)能。 |




