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    [求助]鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？ [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)e501559
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-01
    求解：鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關(guān)系？ 怎么理解它們之間的關(guān)系?
     
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    離線(xiàn)yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-11-08
    一般是通過(guò)控制功率來(lái)控制速率，而膜厚是速率乘以時(shí)間的累積，tooling是校正厚度而設(shè)的一個(gè)材料參數(shù)。具體為toolingX顯示厚度＝實(shí)測(cè)厚度
    離線(xiàn)xingmeng1227
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-11-09
    shoujiaole
    離線(xiàn)cxb007007
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2011-11-12
    在一定條件下 功率大 速率高  相對(duì)折射率偏高  膜厚減少  
    離線(xiàn)xingmeng1227
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2011-11-26
    zhemejiandan?
    離線(xiàn)老城1234
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2012-08-15
    呵呵                這個(gè)也問(wèn)啊
    離線(xiàn)a060103112
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2013-02-27
    其實(shí)吧，這些問(wèn)題你自己好好想想應(yīng)該是能明白的
    離線(xiàn)scenery
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2013-08-03
    新手，好好學(xué)習(xí)中
    離線(xiàn)rexchou
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2016-04-21
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個(gè)A的材料) rE7G{WII  
    2F;y;l%  
    功率=電子槍功率 q~Hn -5H4Q  
    fy1|$d{'  
    膜厚:薄膜厚度(nm) /A\8 mL8  
    I@\lN&HC  
    Tooling=誤差值=實(shí)際/理想 Ng&%o  
    AD> e?u  
    ;._ l 0Jw  
                                                                                                      來(lái)自臺(tái)灣則米的SiO2王
    離線(xiàn)jakzhou
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2016-06-02
    鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個(gè)A的材料) @)+AaC#-  
    &A/]pi-\  
    功率=電子槍功率 /V8 #[9K  
    1UgEI"#a6g  
    膜厚:薄膜厚度(nm) G&SB-  
    T  wB}l  
    Tooling=誤差值=實(shí)際/理想 Eh`7X=Z7E