掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術(shù)性能指標(biāo):
Y7yzM1?t 分辨率:4.5nm(鎢絲陰極)
& *& 放大倍數(shù):15倍-250,000倍
JAL"On#c#0 電子光學(xué)系統(tǒng) l%xeM!} 電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極
.aIFm5N3? 加速電壓:0-30kV
Q[Tbdc%1EG 透鏡系統(tǒng):電磁透鏡
*-_joAWTG 物鏡光闌:三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)
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9n@($B 樣品室
5YiBw|Z7 " 六個接口,可接WDS、EDS、BSE等多種附件和探測器
W!Rr_'yFe) 樣品臺
L\kT9wWK| 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm
h6Hop mWVx T=-5°~+90°,R=360°
DZ;2aH 大樣品臺位稱:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm
nx4E}8!Lh T=0°~+90°,R=360°
/^Lo@672 計算機(jī)系統(tǒng):PC機(jī),基于MicrosoftTM WindowsTMXP軟件操作系統(tǒng),全中文菜單
xJ|Z]m=d
圖像顯示與觀察
a% 82I::t 數(shù)字圖像,1024×768顯示方式
M$LzV}k 17"彩色顯示器
q/YO5>s15 掃描方式:全幅、面、線、點(diǎn)、選區(qū)雙放大及屏幕分割
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