非球面透鏡的面性檢測,現(xiàn)在用的比較多的是加零鏡,但是制造零鏡要求過高。而且很多都是非球面。 rly%+B `/
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下面介紹的方法是將面型的檢測轉(zhuǎn)化為對(duì)波前誤差的檢測,這樣就比較簡單了; 2/tx5Nc
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在非球面檢測中長借助于632.8nm波長的干涉儀進(jìn)行檢測。我們設(shè)計(jì)非球面透鏡大多不是以這個(gè)波長設(shè)計(jì)的,而且即使是在這個(gè)波長設(shè)計(jì)的,單個(gè)非球面成像的波相差也不一定就好(很多是系統(tǒng)中的一部分),這樣的話我們需要想辦法讓這個(gè)非球面在632.8nm波長下的波前誤差很好。這樣我們只要檢測透過鏡子的波前誤差來檢測非球面的好壞;有兩種方法: ?*yB&(a:8
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1.做工藝球面:此方法只適合于有一個(gè)非球面的透鏡,首先將設(shè)計(jì)好的非球面輸入到光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中固定不變,然后對(duì)透鏡另一個(gè)面(球面)進(jìn)行優(yōu)化使該透鏡在632.8nm波長下成像質(zhì)量,波相差最好,(這里設(shè)計(jì)的透鏡的厚度要比原設(shè)計(jì)稍厚,保證工藝球面不與原先的球面有交叉),該球面成為“工藝球面”,這樣首先加工出來這個(gè)工藝球面,然后加工非球面,使用632.8nm干涉儀直接檢測,直至成像質(zhì)量(波前差)滿足要求,最后再將另一面加工成所要的球面,這樣整個(gè)透鏡就加工完畢。 6>;OVX
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2.加補(bǔ)償鏡:加補(bǔ)嘗鏡的方法比較簡單,設(shè)和大批加工。該方法是設(shè)計(jì)一球面透鏡作為補(bǔ)償鏡,使該球面透鏡與非球面透鏡組合成一個(gè)系統(tǒng),該系統(tǒng)在632.8nm波長下成像質(zhì)量非常好。檢測整個(gè)系統(tǒng)的成像質(zhì)量來推斷非球面的質(zhì)量。為保證非球面加工質(zhì)量,需要對(duì)球面透鏡提出要求要嚴(yán)格(球面鏡好加工)。 )G?\{n-
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補(bǔ)償鏡比工藝球面的使用范圍廣泛,因?yàn)楣に嚽蛎嬷挥幸粋(gè)球面優(yōu)化的空間不足。結(jié)合工藝球面和加補(bǔ)償鏡兩種方法可以加工雙非球面透鏡(兩個(gè)面都是非球面的透鏡)。具體大家可以自己發(fā)揮! guGX
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