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    [求助]求助各位鍍膜工程師前輩 [復(fù)制鏈接]

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    離線cxc0816
     
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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2013-10-13
    鍍增透膜后的基底就像有一層霧一樣是什么原因，望各位前輩給小弟解答一下（多層膜，膜系al2o3 zro2 mgf2） (o)nN8  
    還有在鍍多層膜過程中，是否要對基底經(jīng)行全程烘烤以便保持基底溫度，鍍膜時間大約持續(xù)1小時
     
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    離線raofengxiang
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2014-05-18
    建議用LaTiO3和MgF2
    離線rollo_tomasi
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2014-04-01
    Al2O3的速率：3A/s 7kx)/Rw\B  
    ZrO2的速率：3A/s yjvzA|(YC  
    MgF2的速率：6-8A/s {ER! 0w/  
    烘烤溫度：300℃左右，從關(guān)門到鍍完MgF2，不要停 .x5Y fe  
    可以不用離子源， z]^&^VFu  
    可以不充氧氣
    離線luopr
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2014-02-13
    老兄你這個問題解決了嗎？ v+f:VA  
    對于你這個問題你主要提的外觀問題，沒有膜層性能不良問題。我觀點(diǎn)分析如下： >J^bs &j  
    1.如果是鍍mgf2時鐘罩的溫度不夠容易產(chǎn)生脫膜。 >(S4h}^I  
    2.如果真空度不夠膜層容易出現(xiàn)膜強(qiáng)度弱，即擦拭就會造成劃痕。 n