近年來(lái)，隨著密集波分復(fù)用系統(tǒng)和全光通信網(wǎng)的研究，要求在各結(jié)點(diǎn)上的交換，如光交叉連接(OXC)、光分插和復(fù)用(OADM)和保護(hù)倒換，直接在光層中完成，這就需要光開(kāi)關(guān)。由于這些結(jié)點(diǎn)上進(jìn)行交換的光纖和波長(zhǎng)數(shù)量很多，所以這種光開(kāi)關(guān)應(yīng)當(dāng)是多端口數(shù)的矩陣光開(kāi)關(guān)。 H*#L~!]  
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      多端口數(shù)的矩陣光開(kāi)關(guān)一般由單個(gè)的1×2或2×2光開(kāi)關(guān)級(jí)連而成。傳統(tǒng)的機(jī)械式光開(kāi)關(guān)雖然在插入損耗、隔離度、消光比和偏振敏感性方面都有良好的性能，但它的尺寸比較大，動(dòng)作時(shí)間比較長(zhǎng)，一般為幾十毫秒，不易組成多端口數(shù)的矩陣光開(kāi)關(guān)。而非機(jī)械式光開(kāi)關(guān)，主要是電光式的波導(dǎo)光開(kāi)關(guān)，其開(kāi)關(guān)速度在毫秒級(jí)到亞毫秒級(jí)，體積非常小，易于集成為大端口數(shù)的矩陣光開(kāi)關(guān)，但共插入損耗、隔離度、消光比和偏振敏感性等性能都比較差。為此，近年來(lái)出現(xiàn)了能集成大規(guī)模矩陣陣列而又有良好性能的兩種新型光開(kāi)關(guān)，即微機(jī)械光開(kāi)關(guān)(MEMS)和熱光開(kāi)關(guān)。 kF:4[d  
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      微機(jī)械光開(kāi)關(guān)是在平面光波導(dǎo)的基體帛制成機(jī)械光開(kāi)關(guān)的動(dòng)作機(jī)構(gòu)，例如采用深蝕刻、淺擴(kuò)散工藝，可制作出懸臂梁作為光開(kāi)關(guān)的可動(dòng)部分，懸臂梁的側(cè)面可用作反射鏡。在可動(dòng)和固定部分之間的梭齒式交叉電極上沒(méi)有電壓時(shí)，光路有反射輸出;加上電壓時(shí)，懸臂梁在靜電力的作用下產(chǎn)生一個(gè)位移，懸臂梁側(cè)壁的反射輸出為零，從而實(shí)現(xiàn)光的轉(zhuǎn)換。 nC^|83