可用晶振片 6MHz LtNspFoLb
頻率范圍 5MHz~6MHz,
oOGFg3X
頻率分辨率 0.005Hz 9W j9=
頻率穩(wěn)定度 1ppm Sf
t,$
膜厚分辨率 0.002A :kXxxS
測(cè)量更新率 10Hz q'jInwY|x
材料數(shù) 112 q2M%AvR
膜系數(shù) 20, 可自動(dòng)串接 ;!EEzR.
可設(shè)定層數(shù) 112層/每膜系 .GFKy
可控制蒸發(fā)源數(shù) 3個(gè), 0~10V, 16bit 4hUUQ;xj
數(shù)字輸入 8路兼容LVTTL,功能自定義 %}{.U
數(shù)字輸出 10路常開(kāi)繼電器,功能自定義 KCn#*[
探頭數(shù) 1,支持六探頭 cN)noGkp
電源 90V~240V,AC, 20W ,;yaYF6|/
主機(jī)尺寸 XDM-3K 438*88*300 (mm,標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)機(jī)柜寬, 2U高度, 深300mm) %gTY7LIe1z
控制方法 PID RMAbu*D0
語(yǔ)言 多國(guó)語(yǔ)言(中、英、…) y <P1VES
通信接口 RS232