大口徑光學(xué)鏡面超精密加工機(jī)床的研制.PDF，需要的下載。 1I({2@C
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摘要：設(shè)計制作了最大加工直徑為Ø880mm的光學(xué)鏡面超精密加工機(jī)床．該機(jī)床采用大理石床身、4軸數(shù)控聯(lián)動、全氣浮支承和零傳動結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)光學(xué)球、非球及自由形面的超精密切削．介紹了機(jī)床整體結(jié)構(gòu)特點和性能參數(shù)，描述了氣浮電主軸、氣浮直線導(dǎo)軌、直驅(qū)回轉(zhuǎn)工作臺等關(guān)鍵技術(shù)及部件．該機(jī)床主軸回轉(zhuǎn)精度0.05μm，直線伺服軸分辨力1.25 nm，回轉(zhuǎn)工作臺角位移分辨力0.009”。在硬鋁和無氧銅材料上分別加工出了面形精度0.5μm、表面粗糙度5nm的Ø400mm球面和面形精度0.5μm/Ø100 mm、表面粗糙度8nm的非球形面。 W{E2 2J}
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關(guān)鍵詞：光學(xué)鏡面；超精密加工機(jī)床；納米切削；氣浮電主軸
