基于tyman-green干涉儀,測(cè)量表面的面型和傾斜。 <'oQ \eB
光路涉及兩個(gè)BS,兩個(gè)PBS,一個(gè)PSD,幾個(gè)PD,一個(gè)CCD,還有很多的Mirror和lenses,包括圓偏振光,線偏振光,HeNe laser。 ^^$s%{ep"
以前用zemax都是用來(lái)設(shè)計(jì)鏡頭和成像系統(tǒng),第一次設(shè)計(jì)干涉光路,求大神的指導(dǎo)。目前看了好多幫助教程,但是毫無(wú)進(jìn)展。 cV6D<,)