激光作為工業(yè)化工具在
光伏行業(yè)是一種關(guān)鍵的技術(shù)。它能確保低成本的制造工藝,生產(chǎn)出高效的
太陽(yáng)能電池。
激光器就是實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)的理想選擇,并且比起其它的工藝它更高效,因?yàn)樗环矫嫣岣吡松a(chǎn)流程中的工藝可靠性,另一方面降低了生產(chǎn)成本。這些優(yōu)勢(shì)在生產(chǎn)晶硅太陽(yáng)能電池和
薄膜太陽(yáng)能電池中得到了充分的體現(xiàn)。
ZeL v! DKvNQ:fI>9 大規(guī)模生產(chǎn)的趨勢(shì)正推動(dòng)著激光技術(shù)的發(fā)展。這是因?yàn)樵诩す饧夹g(shù)上的投資能快速得到回報(bào),特別是當(dāng)今已經(jīng)安裝的那些每年產(chǎn)能在60-100MW的生產(chǎn)線。通常來(lái)說(shuō),激光器能發(fā)揮其潛在優(yōu)勢(shì)。
~&UfnO f`[gRcZ- ·激光作為工具被使用,因?yàn)樵诠夥袠I(yè)中針對(duì)不同
材料(硅,金屬,電介質(zhì))的吸收可以選擇正確
波長(zhǎng)。
No'^]r ·短波或脈沖激光能保證較低的光熱效度。
aCwb[7N ·對(duì)于易碎材料的加工,通過(guò)非接觸式的方法減小機(jī)械沖擊是建立可靠的工藝生產(chǎn)線的基礎(chǔ)。
b6LwKUl ·在更換工具后昂貴的工藝調(diào)整過(guò)程就不必要了,因此減少了生產(chǎn)過(guò)程中的停機(jī)時(shí)間。
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qo 在晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中,激光器被用于切割硅片和邊緣絕緣。電池邊緣的摻雜是為了防止前電極和背電極的短路。在這一應(yīng)用上,激光已完勝其它傳統(tǒng)的工藝。例如等離子刻蝕未能滿足自動(dòng)化要求,破損率很高。
{eQ')f qMA K"%x 激光器越來(lái)越多地用于摻雜工藝,因?yàn)樗茉谔?yáng)能電池上提高局部摻雜濃度得分布從而改善載流子的移動(dòng)性,特別是接觸柵極。至少六個(gè)不同的工藝在市場(chǎng)上互相競(jìng)爭(zhēng),幾乎所有的工藝都是基于激光技術(shù)。例如,經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)的激光裝量可以毫無(wú)損傷在磷硅
玻璃把磷擴(kuò)散到硅片的表面,從而提高晶圓和接觸電極之間的導(dǎo)電率。
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