| ka2012 |
2018-12-27 11:22 |
長(zhǎng)條形鏡面面形擬合技術(shù)研究
摘要：為了解決長(zhǎng)條形鏡面面形擬合中各項(xiàng)不正交，無法在調(diào)整中利用像差指導(dǎo)計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)的問題，本文建立了一套合理的擬合模型。該模型以矩陣求解正交化Zernike多項(xiàng)式系數(shù)為基礎(chǔ)，將離散的數(shù)據(jù)點(diǎn)作為定義域，對(duì)已選取的Zernike項(xiàng)進(jìn)行定義域內(nèi)正交化計(jì)算，并以獲得的各正交項(xiàng)為基底，實(shí)現(xiàn)對(duì)長(zhǎng)條形鏡面及其他異形光學(xué)鏡面的正交化多項(xiàng)式擬合求解。進(jìn)而確定在干涉檢測(cè)中加工誤差與裝調(diào)誤差的分離，為光學(xué)鏡面的最終面形收斂提供保障。根據(jù)本文實(shí)驗(yàn)結(jié)果，對(duì)一口徑600 mm×260 mm，PV與RMS值分別為5.889λ及1.002λ的長(zhǎng)條形光學(xué)鏡面進(jìn)行擬合，利用Metropro去像散后，面形未得到收斂，PV與RMS值分別變?yōu)?.448λ及1.725λ。而采用本文算法處理后，其PV與RMS值分別收斂為4.666λ及0.679λ，驗(yàn)證了本文方法對(duì)于長(zhǎng)條形鏡面擬合的正確性。 B #tdLv"I
>;i\v7
關(guān)鍵詞 ： 干涉測(cè)量；面形擬合；長(zhǎng)條形反射鏡；正交化
|
|