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infotek 2020-08-27 09:30

高NA物鏡聚焦的分析

摘要 Kwau:_B  
?7s  
高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻,顯微鏡等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對這種鏡頭進行光線追跡和場追跡分析非常方便。通過場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 ^ZBkt7  
B}T72!a  
co-D,o4x  
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建模任務(wù) J(L$pIM  
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k{8N@&D  
概觀 N|d@B{a(  
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光線追跡仿真 "fwuvT 1  
ThB2U(Wf  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作為仿真引擎。 =^}2 /vA  
?RyvM_(N6  
•點擊Go! ymqhI\>y#  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 VW/1[?HG5  
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O#k+.LU  
sk/ Mh8z  
光線追跡仿真 O^ hV<+CX  
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c Ix(;[U  
•然后,選擇“光線追跡”(Ray Tracing)作為仿真引擎。 ]|(?i ,p  
•單擊Go! *n\qV*|6bI  
•結(jié)果,獲得點列圖(2D光線追跡結(jié)果)。
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v4zARE9#  
場追跡仿真 &kt#p;/p?  
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•切換到場追跡并選擇“第二代場追跡”(Field Tracing 2nd Generation)作為仿真引擎。 &v88x s  
•單擊Go!
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