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2020-08-27 11:25 |
衍射光學(xué)器件(DOE)設(shè)計與加工承接
衍射光學(xué)器件(DOE)設(shè)計與加工承接。針對各類衍射和微納光學(xué)器件,通過應(yīng)用VirtualLab Fusion內(nèi)置的迭代傅里葉變換算法(Iteration Fourier Transform Algorithm,IFTA)能夠快速的實現(xiàn)各類衍射微納光學(xué)器件的設(shè)計和優(yōu)化,并進(jìn)行公差分析(如對齊、加工高度以及倒角等),最后導(dǎo)出GDSII文件以用于DOE的加工。
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