| infotek | 2022-03-14 09:04 |
光柵級次分析器分析特定衍射級的衍射效率是光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光波長相當，因此必須通過嚴格的方法計算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場信息，從中可以獲得相應的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。  光柵規(guī)格 •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。 •操作中的層，提供高反射（HR）功能。 •光柵參數(shù)在堆棧中設定，其通過光柵組件的編輯對話框中完成。  光柵級次分析器設置 •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級次分析器計算瑞利系數(shù)和相關衍射特性。 •此外，各種輸出選項可用于顯示結(jié)果。 •這是通過分析器的編輯對話框完成的，該對話框通過雙擊光學設置視圖中的相應元件顯示。  通用設置 •在“常規(guī)”選項卡中，您可以選擇分析透射或反射。 •此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。 −級次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場/光強在級次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級次收集是為傳輸和反射單獨生成的。有關級次收集文檔的更多信息，請參見下一張幻燈片。 −單級次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級次”選項卡。（見下頁） | |