JCMSuite應(yīng)用--線型光柵

+cmi?~KS*   這是一個(gè)一維周期線光柵的簡(jiǎn)單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 qyKR]%yzi   ZK'WKC   光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長(zhǎng)垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。 S偏振照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 eUCBQK   P偏振照明的近場(chǎng)強(qiáng)度 .:Wp9M   `H*mQERb   傅立葉變換后處理計(jì)算透射衍射級(jí)的振幅。 @RuMo"js   3%o}3.P,:@   參數(shù)掃描 ]=xX_   DQV9=   Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對(duì)入射角度的掃描。 eA ?|X|   p}gA8o   它會(huì)生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級(jí)的強(qiáng)度： !~'D;Jh   $w-@Oa*h9U   在腳本data_analysis/run_can_width.m中，線條的寬度在150 nm到250 nm之間變化，照明角度固定。

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