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2022-11-24 09:49 |
分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦
HJ !)D~M{ 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過光場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 B[S.6"/H [WRs1$5
r*0a43mC1 .gG<08Z 建模任務(wù) ^ Gq2"rDM y@nWa\iG
iL/(WAB_od 4)]g=-3 入射平面波 `[jQn; 波長(zhǎng) 2.08 nm ]6pxd \Q 光斑直徑: 3mm (=QaAn,,R 沿x方向線偏振 -l`@pklQ 5#80`/w^U 如何進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的光線追跡分析? oZA|IF8U0 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布? H{\tQ->(2 ]i8K )/ 概覽 PxfeU2^{0 •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 fh b
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