顯微鏡投影光刻實(shí)現(xiàn)在幾秒內(nèi)高分辨率制造

最新發(fā)表在《光：先進(jìn)制造》上的一篇新論文中，德國(guó)漢諾威萊布尼茨大學(xué)科學(xué)家開(kāi)發(fā)了一種低成本且用戶(hù)友好的制造技術(shù)——基于UV-LED的顯微鏡投影光刻（MPP），能在幾秒鐘內(nèi)以快速高分辨率制造光學(xué)元件。這種方法能在紫外光照射下，將光掩模上的結(jié)構(gòu)圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠涂層的基板上。 7hMh%d0d(_  
集成的光信號(hào)想要實(shí)現(xiàn)多種功能，都離不開(kāi)基本光學(xué)元件的小型化，例如波導(dǎo)、分路器、光柵和光開(kāi)關(guān)。這也意味著需要一種能實(shí)現(xiàn)高分辨率制造的方法。 ,1<6=vL  
目前已存在幾種用于亞波長(zhǎng)高分辨率制造的技術(shù)，例如直接激光寫(xiě)入、多光子光刻、電子束光刻、離子束光刻和多米諾骨牌光刻，然而，這些技術(shù)均成本高昂、復(fù)雜且耗時(shí)。納米壓印光刻雖然非常適合高分辨率與高效制，但是它同時(shí)也需要高質(zhì)量的“母機(jī)”。 rXTdhw?+  
此次的MPP系統(tǒng)，基于標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)和光機(jī)械元件，研究團(tuán)隊(duì)使用波長(zhǎng)為365納米的極低成本UV-LED代替汞燈或激光作為光源。 ?aTC+\=